Первый серийный отечественный литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром совместно с белорусской компанией «Планар», будет передан заказчику в конце 2026 года. Получателем установки «Прогресс СТП-350» станет московская компания «Маппер», входящая в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех». Вторая серийная машина отправится в компанию «Отраслевые решения» группы «Элемент». Согласно появившимся в российской прессе 11 сентября 2026 года данным, базовая версия литографа оценивается в 392 млн рублей без НДС, а комплектация с расширенным сервисным обслуживанием и пятилетней гарантией — в 561 млн рублей, что на 40–60% ниже стоимости сопоставимого зарубежного оборудования. Срок изготовления составляет 18 месяцев.
Технически установка представляет собой проекционный степпер, работающий в режиме переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину с топологической нормой 350 нм. Рабочее поле составляет 22 на 22 мм, поддерживается обработка пластин диаметром до 200 мм. Вместо традиционной ртутной лампы применён твердотельный лазер, что обеспечивает более высокую мощность и энергоэффективность. Производительность достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час или 43 пластин диаметром 200 мм в час. Установка включена в государственный реестр промышленного оборудования под обозначением RAVC.442174.002TU, что даёт ей приоритет при закупках государственными предприятиями.
Технология 350 нм не относится к передовому краю мировой микроэлектроники, однако она остаётся востребованной для изготовления элементной базы силовой и автомобильной электроники, промышленных систем управления, МЭМС-устройств и инфракрасных матриц для тепловизоров и беспилотных аппаратов. Именно на этой нише сосредоточены интересы заказчика: первый покупатель российского литографа располагает 1500 квадратными метрами чистых помещений, обрабатывает до 5000 пластин в год и участвует в проекте Минпромторга РФ по серийному выпуску инфракрасных детекторов.
Полностью замкнутый цикл производства литографов данного класса сегодня способны обеспечить лишь несколько стран. Японская Canon выпускает модели FPA-3030i5+ и FPA-5550iZ2 с разрешением не хуже 350 нм на i-line длине волны 365 нм, ориентированные в том числе на производство МЭМС и светодиодов. Nikon предлагает степпер NSR-2205iL1 с аналогичными параметрами, который остаётся одним из самых распространённых в отрасли. Нидерландская ASML поставляет систему TWINSCAN XT:400G для объёмного производства пластин диаметром 300 мм с разрешением 350 нм. Китайская компания AMIES с 2025 года серийно отгружает степпер AST6200, специально оптимизированный под карбид кремния, нитрид галлия и другие соединения для силовой и радиочастотной электроники. Появление российского «Прогресс СТП-350» в этом ряду означает, что наша страна получила собственный инструмент для производства чипов, на которых держится промышленная и автомобильная электроника, — и следующим шагом заявлен переход к более компактным технологическим нормам 130 нм с готовым литографом в 2027 году.
